VUV/UV 激光分光镜插图

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概述

波长10%+/-2%30%+/-5%50%+/-5%70%+/-5%90%+/-5%
126 nmM126-P1045M126-P3045M126-P5045M126-P7045M126-P9045
147 nmM147-P1045M147-P3045M147-P5045M147-P7045M147-P9045
157 nmM157-P1045M157-P3045M157-P5045M157-P7045M57-P9045
172 nmM172-P1045M172-P3045M172-P5045M172-P7045M172-P9045
193nmM193-P1045M193-P3045M193-P5045M193-P7045M93-P9045
248 nmM248-P1045M248-P3045M248-P5045M248-P7045M248-P9045
266 nmM266-P1045M266-P3045M266-P5045M266-P7045M266-P9045
308 nmM308-P1045M308-P3045M308-P5045M308-P7045M308-P9045
353 nmM353-P1045M353-P3045M353-P5045M353-P7045M353-P9045

注意:分光镜镀膜部件号(基于透射率%)

对于完整的分光镜:
镀膜部件 # + 基片部件 # = 完整的分光镜

例如:
要在 1.0“ 平面 UV 级熔融石英基板:
部件 # M308-P3045-1D-MB

背面使用的涂层必须通过添加 “-S2”到涂层零件编号。

上面列出的零件编号适用于 45° 入射角 仅涂层。如果需要正常入射涂层, 从涂层零件编号中删除“45”。

例如:部件 # M193-P1045 将是部件 # M193-P10。

通常,激光级紫外熔融石英基板是 推荐用于 170nm 以上的分光镜。

分光镜镀膜可应用于客户提供 材料。​

涂层曲线

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